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新技術により低コストで低欠陥・高純度の半導体結晶を製造
未来の電力効率化の実現に向けた大きな一歩

株式会社 FOX

社名のFOXの由来 : Functional Oxide X'tal

事業概要About Us

低コスト・高効率な酸化ガリウム半導体基板の製造技術確立

東北大学と連携し、貴金属製のるつぼを使用しない、新たな結晶育成技術であるOCCC法*を中心に、
ワイドバンドギャップ半導体として有望視されている高品質のβ-Ga2O3バルク単結晶製造技術を確立します。
従来法と比較して、製造コストの大幅削減と高純度化に優れるこの技術は、パワー半導体の市場を新時代へ
と導くことが期待されます。高品質のβ-Ga2O3バルク単結晶基板の量産技術を研鑽し、品質・コストの面
において、十分社会実装に可能なステージまで到達させ、市場へ提供していく責務を果たし、パワー半導体
市場にウエハの製造および加工技術開発を行うメーカーとして参入してまいります。

FOXの事業領域

インゴット
単結晶製造

ラッピング・
ポリッシング
(鏡面化)

成膜ウエハ完成
(エピタキシャル
ウエハ)

ファウンドリー半導体メーカー

製品

ウェーハ・材料製造に特化

  • プレイヤーが限定的であり、技術によるブレイクスルーにより
    ゲームチェンジが確実に狙える領域であること

  • 日本がイニシアチブを
    有しているウェーハ製造に特化

  • 応用物理の領域であり、製法特許による囲い込みが可能
    ​代替技術開発が難しく、長期で優位性を確保が可能

  • ウェーハ製造に特化することで多くの半導体サプライヤーを顧客とすることができる

次世代の省エネパワー半導体β-Ga2O3の社会実装と普及の後押し

β-Ga2O3はワイドバンドギャップ半導体としての高い特性を持ち、高効率な電力変換を可能にするため、
次世代の省エネパワーデバイスとして期待されています。
当社は、研究開発を推し進め、β-Ga2O3を活用した新しいパワー半導体デバイスの社会実装とその普及を、
高品質で低コストな基板の量産により、ウエハ量産メーカーとして後押しし、パワー半導体開発企業と
連携し、電気自動車や再生可能エネルギーのインフラにおける需要や市場を拡大していきます。

持続可能な製造技術と環境負荷の低減

貴金属るつぼを使用せずに結晶を成長させるOCCC法は、次世代パワー半導体であるβ-Ga2O3のウエハ製造工程において、LCA(ライフサイクルアセスメント)の根本的な改善、材料利用効率の向上、および環境負荷の低減を実現する革新的技術として注目されています。
当社は、次世代パワー半導体β-Ga2O3の社会実装と普及を推進することで、従来のSi半導体に比べて電力損失を大幅に低減し、環境に配慮したパワー半導体事業を通じて、2050年のカーボンニュートラル実現に電力分野から貢献してまいります。

  • OCCC法によるβ-Ga2O3結晶育成の様子

  • OCCC法により生成されたβ-Ga2O3単結晶

  • β-Ga2O3ウエハ(8x10mm)

*NICHe:New Industry Creation Hatchery Center (未来科学技術共同研究センター)
*OCCC法:Oxide Crystal growth from Cold Crucible
*LCA:Life Cycle Assessment

FOXの研究者たちは数多くの論文を発表してきました。
注目すべき革新的な論文および記事をお読みください。

代表挨拶Message

私たち株式会社FOXは、大学発の革新的技術を活用し、酸化ガリウム(β-Ga2O3)パワー半導体の製造におけるコスト課題と技術的障壁を克服するため、2024年4月に設立されました。
酸化ガリウムは次世代の省エネ・高効率電力変換を実現する中核材料です。
私たちは基板コストの大幅削減と量産体制の確立を通じて、パワー半導体の社会実装を加速させ、脱炭素社会の実現に貢献します。
この技術を受け継ぎ発展させ、日本の半導体産業の再興とカーボンニュートラル社会への移行をリードしてまいります。
今後とも皆様のご支援を賜りますようお願い申し上げます。

代表取締役

会社概要Company

商  号
株式会社FOX
本  店
宮城県仙台市青葉区一番町一丁目12-2
設  立
2024年4月11日
代  表
代表取締役社長小野寺晃
資 本 金
1億4,400万円
事業内容
結晶材料の開発、設計、試作、実験、解析、評価
結晶材料及び半導体製品の製造
結晶材料およびその応用製品の製造販売
結晶材料の研究開発、製造販売及び評価に関するコンサルティング
主要株主
岩谷ベンチャーキャピタル(※50音順)
東北テックベンチャーズ
マクニカ・インベストメント・パートナーズ
役員構成
取締役小野寺晃
取締役鎌田圭(国立大学法人東北大学未来科学技術共同研究センター(NICHe*) 教授)
取締役小倉喜一
取締役庄子育宏
監査役川添良幸(国立大学法人東北大学NICHe シニアリサーチフェロー)
技術顧問吉川彰(国立大学法人東北大学金属材料研究所NICHe 兼任教授)

News

科学誌Natureの姉妹紙Scientific ReportsにOCCC法の研究成果が掲載されるScientific reports 14, Article number: 14881
NEDO 第4次  ディープテック・スタートアップ支援事業(DTSU)STSフェーズを採択
第三者割当増資により、2億7千万円資金調達

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